6MHz晶振片Sensor

晶振片是利用石英晶體的壓電效應(yīng)和質(zhì)量負(fù)荷效應(yīng)，采用AT切割，其振動頻率對質(zhì)量的變化極其靈敏，但卻不敏感于溫度的變化，具有精度高、靈敏度好等獨(dú)特的優(yōu)勢，非常適合于真空薄膜淀積中的膜厚監(jiān)控。

相關(guān)技術(shù)參數(shù)：                         

標(biāo)稱頻率：6.000MHz

外形：2.5屈光度 平凸

直徑：Φ13.98 ±0.02mm

切型：AT切

切角：35°16′±2′

諧振頻率：5.980~5.988MHz

諧振電阻：≦20Ω

材質(zhì)：Z料（Q值≥2x10^-6）

電極膜鍍層：鉻-金（Cr-Au）