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晶振片是利用石英晶體的壓電效應(yīng)和質(zhì)量負(fù)荷效應(yīng)，采用AT切割，其振動(dòng)頻率對(duì)質(zhì)量的變化極其靈敏，但卻不敏感于溫度的變化，具有精度高、靈敏度好等獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)，非常適合于真空薄膜淀積中的膜厚監(jiān)控。
相關(guān)技術(shù)參數(shù)：
標(biāo)稱頻率：5.000MHz
外形：2.5屈光度平凸
直徑：Φ12.37 ±
切型：AT切
諧振頻率：4.995~5.005MHz
諧振電阻：≦20Ω
材質(zhì)：Z料（Q值≥2x10-6）
電極膜鍍層：鉻-金（Cr-Au）
