二氧化鈦，高純二氧化鈦靶
規(guī)格：靶材，顆粒
化學(xué)符號：TiO2
沸 點(diǎn)：2500-3000℃
分 子 量：79.88
密 度：4.29g/cm3
熔 點(diǎn)：1650℃
外 觀：白色、黑色
黑色TiO2導(dǎo)電率：70-80Ω/cm
10ˉ4真空下蒸發(fā)溫度為：2200℃
蒸發(fā)方式：電子束反應(yīng)蒸發(fā)TiO
透明波段/nm：350-12000
折射率（波長/nm）:2.2-2.4(550)
介電常數(shù)Σ：31-173
性 能：適于電子槍蒸發(fā),膜層致密,牢固,抗化學(xué)腐蝕.灰色料比白色料易蒸發(fā),但需充氧。也可用鎢舟，鉬舟加熱蒸發(fā)，產(chǎn)生分解的吸收膜；不溶于水、稀酸、有機(jī)酸和稀堿溶液；但溶于熱濃硫酸、氫 氟酸和強(qiáng)堿；
應(yīng) 用：防反膜、冷光膜、分光膜、濾光片、高反膜，眼鏡膜。TiO2薄膜具有高的介電常數(shù)，可用來制作混合集成電路用的薄膜電容器。一般用熱氧化法、陽極氧化法和反應(yīng)濺射法制備。
