低溫等離子體技術(shù)在氣態(tài)污染物治理方面優(yōu)勢顯著。其基本原理是在電場的加速作用下，產(chǎn)生高能電子，當(dāng)電子平均能量超過目標(biāo)治理物分子化學(xué)鍵能時，分子鍵斷裂，達(dá)到消除氣態(tài)污染物的目的。

低溫等離子體技術(shù)應(yīng)用范圍廣，氣體的流速和濃度對于氣態(tài)污染物治理技術(shù)應(yīng)用來說是兩個非常重要的因素。生物過濾和燃燒技術(shù)能應(yīng)用于較高濃度范圍，但卻受氣體的流速所限。而低溫等離子體技術(shù)對氣體的流速和濃度都有一個很寬的應(yīng)用范圍，低溫等離子設(shè)備其應(yīng)用廣泛不言而喻。

低溫等離子體技術(shù)工藝簡單，吸附法要考慮吸附劑的定期更換，脫附時還有可能造成二次污染；燃燒法需要很高的操作溫度；生物法要嚴(yán)格控制pH值、溫度和濕度等條件，以適合微生物的生長。而低溫等離子體技術(shù)則較好的克服了以上技術(shù)的不足，反應(yīng)條件為常溫常壓，反應(yīng)器結(jié)構(gòu)簡單，低溫等離子設(shè)備并可同時消除混合污染物（有些情況還具有協(xié)同作用），不會產(chǎn)生二次污染等。就經(jīng)濟(jì)可行性來說，低溫等離子體反應(yīng)裝置本身系統(tǒng)構(gòu)成就單一緊湊，在運(yùn)行費(fèi)用方面，微觀來講，因放電過程只提高電子溫度而離子溫度基本保持不變，這樣反應(yīng)體系就得以保持低溫，低溫等離子設(shè)備所以不僅能量利用率高，而且使設(shè)備維護(hù)費(fèi)用也很低。

低溫等離子體去除污染物的機(jī)理：

等離子體化學(xué)反應(yīng)過程中，低溫等離子設(shè)備等離子體傳遞的化學(xué)能量在反應(yīng)過程中能量的傳遞大致如下：

（1） 電場＋電子→高能電子

（2） 高能電子＋分子（或原子）→（受激原子、受激基團(tuán)、游離基團(tuán)） 活性基團(tuán)

（3） 活性基團(tuán)＋分子（原子）→生成物+熱

（4） 活性基團(tuán)＋活性基團(tuán)→生成物+熱

從以上過程可以看出，低溫等離子設(shè)備電子首先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團(tuán)；之后這些活性基團(tuán)與分子或原子、活性基團(tuán)與活性基團(tuán)之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強(qiáng)的物質(zhì)俘獲，成為負(fù)離子。這類負(fù)離子具有很好的化學(xué)活性，在化學(xué)反應(yīng)中起著重要的作用。

低溫等離子體技術(shù)在環(huán)境工程中的應(yīng)用：

隨著工業(yè)經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業(yè)產(chǎn)生的揮發(fā)性有機(jī)廢氣也日漸增多。這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時間，還會擴(kuò)散和漂移到較遠(yuǎn)的地方，給環(huán)境帶來嚴(yán)重的污染。這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產(chǎn)生極大的危害，工業(yè)廢氣的無控制排放使全球性的大氣環(huán)境日益惡化。低溫等離子設(shè)備因此選擇一種經(jīng)濟(jì)、可行性強(qiáng)的處理方法勢在必行。低溫等離子廢氣處理設(shè)備在此情況下應(yīng)運(yùn)而生。