派克液體流量控制器parker快速響應液體流量控制器

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派克液體流量控制器parker快速響應液體流量控制器

<秒1響應時間>讀數精度的1%壓電控制閥.金屬密封結構

?緊湊型尺寸1/8“面密封或壓縮配件波特D2000i系列液體質量流量控制器的地址

半導體制造中液體前體的快速精確控制的必要性過程，以及生物技術、制藥中的各種應用，

化工、石化和表面處理工業。閉環數字控制電路與積分比例壓電驅動相結合

控制閥，提供不到1秒的響應時間和穩定的控制在低。潔凈室總成和所有金屬密封結構確保高純度和泄漏完整性。一個獨特的層流旁路和傳感器組件提供準確的

流體溫度僅上升5°c的測量。緊湊的封裝尺寸該D2000i系列簡化系統集成。一個D2000i系列液體質量流量計只適用于需要流量監控的應用程序。

規格

響應時間：＜1秒至5%以內

速率（最多6個儲存閥跳變電壓）

準確度和線性度：讀數的1%

重復性：在任何情況下，速率為0.2%。

在恒定的溫度

操作溫度范圍

可調范圍（控制范圍）：20:1

（5% - 100%滿刻度）（精度和控制）環境溫度和工作溫度

范圍：- 10至40°C（+ 14至104°F）

最大允許工作壓力：125 psig

溫度系數：＜0.1%°C

設定輸入流量信號輸出：0-5 VDC（2K歐姆最低負載電阻）

流量輸出信號）

電源要求：（電流消耗小于200 MADC）：+ 15（10%）VDC

泄漏完整性：1×10- 9ATM。CC / sec.he

熱身時間：20分鐘

建筑材料—

（濕表面）：車身- 316L不銹鋼

傳感器總成- 316L不銹鋼

閥門組件- 316L不銹鋼

O型環- 316L不銹鋼