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| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
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| 品牌 | Aerotech | ||
| 產(chǎn)品特性 | 氣浮平臺(tái) | ||
| 是否進(jìn)口 | 否 | ||
| 產(chǎn)地 | 美國(guó) | ||
| 加工定制 | 是 | ||
| 產(chǎn)品認(rèn)證 | CE | ||
| 速度響應(yīng)頻率 | 200KHz | ||
| 適用電機(jī) | Aerotech直線(xiàn)電機(jī) | ||
| 型號(hào) | ABL1500 | ||
????Aerotech?ABL系列氣浮軸承直驅(qū)直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，擁有超 的定位功能，精度在0.2~0.5um之間。
設(shè)計(jì)特點(diǎn)
專(zhuān)為 掃描和檢查而設(shè)計(jì)
所有空氣軸承表面上的有效空氣預(yù)載
線(xiàn)性編碼器反饋提供亞納米分辨率
高剛性，可承受重載，并具有 幾何性能
行程達(dá)500毫米
前沿制造業(yè)，特別是在半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)行業(yè)中，要求的定位公差超出了傳統(tǒng)滾珠絲杠和機(jī)械軸承定位系統(tǒng)的能力。ABL1500空氣軸承臺(tái)具有完全主動(dòng)的預(yù)緊力，極高的剛度和 幾何特性， 為滿(mǎn)足這些需求而設(shè)計(jì)。
空氣軸承設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)性能
ABL1500在垂直和水平表面上均帶有空氣預(yù)載功能。相對(duì)的薄膜壓力可保持軸承的名義間隙公差。除了大的空氣軸承表面可以將負(fù)載分配到較大的表面積上之外，這種設(shè)計(jì)還可以使平臺(tái)具有 剛度，非常適合重載或偏載。
制造技術(shù)導(dǎo)致了具有無(wú)法超越的幾何特征的階段。空氣軸承具有固有的平均效應(yīng)，可限度地提 薄膜將填充小的表面空隙并允許其他不規(guī)則性。此特性可產(chǎn)生 螺距，滾動(dòng)，偏航，直線(xiàn)度和平坦度規(guī)格。
直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)
此階段的驅(qū)動(dòng)力是Aerotech的BLMC系列無(wú)刷線(xiàn)性伺服電機(jī)。該設(shè)計(jì)體現(xiàn)了Aerotech作為電機(jī)制造商的悠久歷史和經(jīng)驗(yàn)。BLMC使用無(wú)鐵力，這意味著零齒槽效應(yīng)和無(wú)吸引力，從而實(shí)現(xiàn)了 的運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性。BLMC能夠產(chǎn)生高的力和速度，代表了功率和性能的結(jié)合。
零維護(hù)
我們的完全非接觸式空氣軸承，非接觸式線(xiàn)性電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器和非接觸式反饋設(shè)備確保了Aerotech設(shè)備所期望的 水平下的多年免維護(hù)運(yùn)行。由于運(yùn)動(dòng)元件之間沒(méi)有機(jī)械接觸，所以隨著時(shí)間的流逝，ABL1500不會(huì)遭受磨損或性能下降。使用壽命幾乎是 的，并且由于沒(méi)有潤(rùn)滑-只有清潔，干燥的氣體-空氣軸承是潔凈室和醫(yī)療應(yīng)用的理想選擇。
電纜管理
我們精心優(yōu)化電纜彎曲半徑，以確保多年無(wú)故障運(yùn)行。萬(wàn)一發(fā)生故障，Aerotech的模塊化設(shè)計(jì)使電纜更換變得快速簡(jiǎn)便，停機(jī)時(shí)間 少。我們將所有客戶(hù)要求的電纜，空氣軟管等都包含在CMS捆綁包中，以便于集成到 終系統(tǒng)中。兩端完全連接，可輕松集成到客戶(hù)的機(jī)器中。
技術(shù)指標(biāo)
機(jī)械規(guī)格
模型 | ABL1500-050 | ABL1500-100 | ABL1500-200 | ||
旅行 | 50毫米 | 100毫米 | 200毫米 | ||
準(zhǔn)確性（1） | E1 | 已校準(zhǔn) | ±0.3微米 | ±0.3微米 | ±0.5微米 |
標(biāo)準(zhǔn) | ±2.0微米 | ±4.0微米 | ±8.0微米 | ||
E3 | 已校準(zhǔn) | ±0.2微米 | ±0.2微米 | ±0.4微米 | |
標(biāo)準(zhǔn) | ±1.0微米 | ±2.0微米 | ±5.0微米 | ||
重復(fù)性 （雙向）（1） | E1 | ±0.1微米 | ±0.2微米 | ||
E3 | ±0.05微米 | ±0.05微米 | ±0.1微米 | ||
直線(xiàn)度（1） | ±0.25微米 | ±0.4微米 | ±0.5微米 | ||
平面度（1） | ±0.25微米 | ±0.4微米 | ±0.5微米 | ||
瀝青 | ±0.5弧秒 | ±1弧秒 | ±2弧秒 | ||
滾 | ±0.5弧秒 | ±1弧秒 | ±2弧秒 | ||
偏航 | ±0.5弧秒 | ±1弧秒 | ±2弧秒 | ||
速度 | 2 m /秒 | ||||
加速度 | 2克（空載） | ||||
力（連續(xù)） | 93.6 N | ||||
載重量（2） | 臥式 | 35公斤 | |||
側(cè) | 25公斤 | ||||
運(yùn)營(yíng)壓力 | 80 psi±5 psig | ||||
耗氣量 | 24-30 SLPM @ 551 kPa（0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴） | ||||
移動(dòng)質(zhì)量（空載） | 5.1公斤 | ||||
舞臺(tái)質(zhì)量 | 14.7公斤 | 16.0公斤 | 18.6公斤 | ||
材料 | 鋁 | ||||
MTBF（平均無(wú)故障時(shí)間） | 30,000小時(shí) | ||||
通過(guò)每個(gè)階段的認(rèn)證。
列出了軸上加載的軸方向。
規(guī)格適用于在桌面上方25 mm處測(cè)量的單軸系統(tǒng)。多軸系統(tǒng)的性能取決于有效載荷和工作點(diǎn)。有關(guān)多軸或非標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用，請(qǐng)咨詢(xún)工廠。
為了防止空氣軸承承受負(fù)壓，建議在運(yùn)動(dòng)控制器/放大器的ESTOP輸入上連接一個(gè)在線(xiàn)壓力開(kāi)關(guān)。
供氣必須清潔，干燥至0°F露點(diǎn)并過(guò)濾至0.25 μm或更高；建議使用純度為99.9％的氮?dú)狻?/p>
對(duì)于XY配置，上軸行程為200 mm。如果上軸行程大于200 mm但等于或小于500 mm，則需要ABL1500WB作為下軸。
