| 產品參數 |
| 尼康10X/20X/50X/100X干涉物鏡參數介紹 品牌 | 尼康 |
| 是否支持加工定制 | 否 |
| 規格 | 550mm |
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 |
| 型號 | 100XDI | |
尼康100X干涉物鏡有貨
干涉物鏡
2.5x 5x 10x 20x 50x 100x
工作距離（mm） 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
NA（數值孔徑） 0.055 0.15 0.30 0.45 0.55 0.7
FOV（mm）1 5093×3818 2546×1909 1270×950 637×477 254×190 127×95
空間采樣（mm）2 6.64 3.32 1.62 0.83 0.33 0.17
光學分辨率 藍光（L&S）（mm）3 2.55 0.93 0.46 0.31 0.25 0.20
光學分辨率 白光（L&S）（mm）3 3.04 1.11 0.56 0.37 0.30 0.24
大坡度4 3.05o 8.6o 14o 21o 25o 42o
垂直分辨率（nm）PSI7
垂直分辨率（nm）ePSI7 <0.1nm（PZT 0.01nm）
垂直分辨率（nm）VSI7 1nm5mm
垂直范圍PSI(mm) 5mm
垂直范圍ePSI(mm) 100mm
垂直范圍VSI(mm) 10mm
掃描速率（mm/s） PSI：3-15mm/s VSI/ePSI：4-18mm/s
一般測量時間（s）9 PSI：3s VSI：10s ePSI：30s
