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| 產品參數 | |||
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| 工作最大壓差 | 5.2bar | ||
| 過濾精度 | ≧0.003um | ||
| 用途范圍 | 適用多種工藝氣體，專為高流量電子級氣體超純凈化設計 | ||
| 濾芯材質 | 316L不銹鋼粉末燒結 | ||
| 殼體材質 | 316L不銹鋼 | ||
| 最大進氣壓力 | 207bar | ||
| 顆粒攔截效率 | ≧99.9999999％（9LRV）@30slpm | ||
| 耐溫 | 適合高溫應用 | ||
| 安裝方式 | 可選其它點位在線安裝，方便快捷 | ||
| 品牌 | 恒歌 | ||
