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產品參數 | |||
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產品特性 | 拋光研磨 | ||
新舊程度 | 8成新 | ||
設備所在地 | 東莞茶山 | ||
設備生產產地 | 臺灣 | ||
產品數量 | 15 | ||
轉數 | 6萬 | ||
可售賣地 | 全國 | ||
型號 | TL-GPRIA-PA |
設備簡介:
本機主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體及其它半導體材料的雙面高精度研磨或拋光,也適用于其它金屬、非金屬、光學玻璃、藍寶石等硬、脆、薄材料的雙面高精度研磨或拋光。
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設備特點:
1.機身結構優化設計,機架采用龍門式結構,剛性好,承壓能力強,能滿足高負載下高速穩定運行。
2.下盤、上盤和太陽輪分別由電機單獨驅動,電機均采用變頻電機且使用變頻調速器控制,能在有效設置范圍內以任意速度工作,實現平穩的停止、加速、減速及換向,能有效的防止薄脆工件破碎。
3.游星輪傳動采用柱銷齒結構,傳動平穩無沖擊,游星輪使用壽命長。柱銷齒采用銷套結構,銷套用不銹鋼材料經熱處理加硬,防銹耐磨,柱銷齒磨損后只需更換銷套,方便簡單,使用成本低。
4.上盤下降過程中,設置了快降和緩降,緩降行程在氣缸行程范圍內可調,緩降速度也可根據工件抗沖擊程度自由調整。
5.本機通過精密電氣比例閥調整控制加工壓力,可根據不同加工工藝要求,設定加工壓力,壓力控制精度高。
6.采用先進的PLC系統,觸摸屏操作面板,所有工藝參數及工藝配方可在觸摸屏上進行修改設置,可根據設定好的工藝參數自動完成整個加工過程。
7.上盤升降設計安全裝置,在上盤升到頂時能有效的保護上盤不突然落下。
8.一體式,模塊化設計理念:將原來三臺減速機集成到一臺主機內,提高了減速機的剛性,減速機模組和磨盤模組可各自裝配好后再整體裝配,提高了裝配效率,使維護更加方便快捷。
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??主要技術參數:
序號 | 項目 | 規格參數 |
1 | 上研磨盤尺寸 | ?1188×?360×50(mm) |
2 | 下研磨盤尺寸 | ?1188×?360×50(mm) |
3 | 游星輪參數 | 柱銷齒 ? 柱銷直徑?10??節距19.3? ??齒數52 |
4 | 游星輪數量 | 5 |
5 | 工件尺寸 | ?370(mm) |
6 | 工件厚度 | 0.3-30(mm) |
7 | 下研磨盤轉速 | 0-50(rmp) |
8 | 加工壓力 | 600Kg |
9 | 主氣缸 | 160×500 |
10 | 主電機 | ?7.5Kw |
11 | 上盤電機 | ?7.5Kw |
12 | 副電機 | ?2.2Kw |
13 | 設備總功率 | 18Kw |
14 | 外形尺寸 | 1900×1480×2700(mm)
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