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| 產品參數 | |||
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| 品牌 | 東京精密 | ||
| 產地 | 日本 | ||
| 重量 | 125 kg | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 主要銷售區域 | 中國大陸 | ||
| 驅動部分辨率 | 0.04 μm | ||
| 石平臺參數 | 600 x 317 mm | ||
| 寬度 | 2000 mm | ||
| 傳感器測量方式姿勢 | 拉推方向、上下方向、最大追蹤角度 ：77° | ||
| 測量速度 | 0.03、0.06、0.15、0.3、0.6、1.5、3、6 mm/s（8 速） | ||
| 直線度精度 | 1 μm/100 mm | ||
| Ｘ軸指示精度（橫向） | ±（1 2L/100）μm（L ：測量長度 mm） | ||
| 測量范圍X 軸（橫向） | 100 mm | ||
| 傳感器測針、測量力、功能 | 更換式、10mN ? 30mN、無級（帶收縮功能） | ||
| 測量范圍Z 軸（縱向） | 50 mm | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 型號 | xh73546265 | ||
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