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| 產品參數 | |||
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| 品牌 | 東京精密 | ||
| 產地 | 日本 | ||
| 測量分辨率 | 0.1μ ｍ /5 mm 量程 、0.4μ ｍ /20 mm 量程、1μ ｍ /50 mm 量程 | ||
| 主要銷售區域 | 中國大陸 | ||
| 寬度 | 2000 mm | ||
| 傳感器測針、測量力、功能 | 更換式、10mN ? 30mN、無級（帶收縮功能） | ||
| 驅動部分辨率 | 0.04 μm | ||
| 測量軟件 | ACCTee | ||
| 傳感器感應方式 | 差動變壓器 | ||
| 重量 | 125 kg | ||
| 測量范圍Z 軸（縱向） | 50 mm | ||
| 石平臺參數 | 600 x 317 mm | ||
| 傳感器測量方式姿勢 | 拉推方向、上下方向、最大追蹤角度 ：77° | ||
| 直線度精度 | 1 μm/100 mm | ||
| 測量范圍X 軸（橫向） | 100 mm | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
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