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| 產品參數 | |||
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| 品牌 | JEL | ||
| 品名 | 5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂 | ||
| 機械手臂標準臂長 | 280mm | ||
| 330mm | |||
| 晶圓固定方式 | 下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式 | ||
| 產地 | 中國 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 使用環境 | 潔凈間內的大氣：溫度 15°C-40°C | ||
| 工藝室溫度 | 450°C | ||
| 手臂 | 單臂 | ||
| 到達距離 | 635mm | ||
| 升降軸行程 | 60mm | ||
| 可搬運質量 | 4kg | ||
| 軸數 | 5 | ||
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | ||
| 類型 | 自動半導體 | ||
| 型號 | GTVCR5330-060-AM | ||
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