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| 產品參數 | |||
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| 品牌 | JEL | ||
| 工作范圍 | 晶圓搬運 | ||
| 是否進口 | 是 | ||
| 機械手臂標準臂長 | 160mm | ||
| 190mm | |||
| 260mm | |||
| 通訊方式 | RS232C及并口I/O方式 | ||
| 手指材質 | CFRP(碳纖維) | ||
| 鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質 | |||
| 晶圓固定方式 | 下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式 | ||
| 手臂數 | 單臂 | ||
| 到達距離 | 520mm (手臂第3關節中心到達距離) | ||
| 升降軸最大行程 | 20mm / 40mm | ||
| 可搬運質量 | 2kg (手臂第3關節處基準) | ||
| 使用環境 | 真空部：溫度 15℃～50℃ | ||
| 數量 | 1 | ||
| 產地 | 日本 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 用途 | 適用于真空腔室內的晶圓搬運 | ||
| 型號 | SVCR3260 | ||
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真空3軸圓柱坐標型機械手臂SVCR3000系。適用于真空腔室內的晶圓搬運
相比SVHR系列機械手臂，可搬運質量提升2倍，具有較好的性價比優勢
另外還保持了和SVHR系列機械手臂的兼容性，方便客戶對設備進行升級改造
機械手臂標準臂長:160mm, 190mm, 260mm, 330mm
手臂關節處使用磁流體密封裝置
真空密封：磁流體密封裝置和波紋管
提高潔凈度的方法：手臂內部排氣口安裝5μm級過濾器
配備動作監視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用2相步進電機
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓
可以選配2相步進電機規格
手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質
晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式
可以針對搬運物體，客戶設備布局的實際情況提供最優的手指
SVCR3260真空3軸圓柱坐標型機械手臂基本參數：
使用環境
真空部：溫度 15℃～50℃
驅動結構內部：潔凈間內的大氣環境
溫度 15℃～40℃
手臂 單臂
到達距離：520mm (手臂第3關節中心到達距離)
升降軸最大行程 20mm / 40mm
可搬運質量 2kg (手臂第3關節處基準)
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