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| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
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| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 型號(hào) | VT6100 | ||
| 行程范圍 | 100*100*100mm | ||
| 儀器重量 | 50kg | ||
| 測(cè)量原理 | 共聚焦光學(xué)系統(tǒng) | ||
| 光源 | 白光LED | ||
| 工作溫度 | 15℃~30℃ | ||
| 品牌 | 中圖儀器 CHOTEST | ||
| 規(guī)格 | 520380600mm | ||
| 視場(chǎng)范圍 | 120×120 μm~1.2×1.2 mm | ||
| XY位移平臺(tái)負(fù)載 | 10kg | ||
| XY位移平臺(tái)控制方式 | 電動(dòng) | ||
| Z0軸掃描范圍 | 10mm | ||
| 物鏡塔臺(tái) | 5孔電動(dòng) | ||
| 工作相對(duì)濕度 | 5％~95％RH，無(wú)凝露 | ||
| 工作環(huán)境震動(dòng) | VC-C或更優(yōu) | ||
