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| 產品參數 | |||
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| 刻蝕最小線寬 | ＜10 um（最大可以去除95％以上的氧化物鍍層） | ||
| 整機精度 | ±15μm | ||
| 工作臺定位精度 | ±2um | ||
| 工作臺重復精度 | ±1um | ||
| 刻蝕速度 | ＜4000mm/s | ||
| 設備重量 | 3500kg | ||
| 功率消耗 | ＜3000W | ||
| 品牌 | 元祿光電 | ||
| 型號 | ET1260-FF | ||
| 激光器 | 飛秒、皮秒、納秒激光器，波長1030nm/532nm/1064nm | ||
| 加工幅面 | 1200*600mm/600*500mm/500*400mm（可定制加工幅面） | ||
| 最小線間距 | ＜10μm | ||
| 聚焦光斑 | ＜10 um | ||
| 激光器頻率調節范圍 | 20-5000KHz | ||
| CCD自動定位精度 | ±2um | ||
| 設備尺寸 | 1950mmL×1700mmW×1960mmH（根據實際尺寸而定） | ||
| 可處理文件格式 | 標準CAD2004版DXF文件 | ||
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