| 產(chǎn)品參數(shù) |
| 型號(hào) | 納秒綠光ET200MG、飛秒紅外ET300IR-FS皮秒紫外ET300UV-PS、皮秒綠光ET300MGPS、飛秒綠光ET300MG-FS、實(shí)驗(yàn)室刻蝕機(jī) ET100IR/ET100MG |
| 刻蝕最小線寬 | ＜10 um（最大可以去除95％以上的氧化物鍍層） |
| 激光器 | 納秒綠光532nm、皮秒綠光532nm、皮秒紫外355nm、飛秒紅外1030nm、飛秒綠光515nm、實(shí)驗(yàn)室刻蝕機(jī)1064/532nm |
| 整機(jī)精度 | ±15μm |
| 加工幅面 | 100*100/200*200/300*300/400*300/600*600/600*900/700*1400mm可選 可定制加工幅面 |
| 最小線寬 | ＜30μm＜10μm＜50um |
| 聚焦光斑 | ＜30μm/＜10μm/＜50um |
| 工作臺(tái)定位精度 | ±3um/±20μm |
| 激光器頻率調(diào)節(jié)范圍 | 30-150KHz/1-1000KHz/25-5000KHz/1-2000KHz/ |
| 工作臺(tái)重復(fù)精度 | ±1um/±20μm |
| CCD自動(dòng)定位精度 | ±3um/±10μm |
| 刻蝕速度 | 最大刻蝕速度4000mm/s（單線） |
| 設(shè)備尺寸 | 1200*1200*1700mm（300*00mm幅面約1000 大尺寸及雙光路 /1280*1400*1750mm（300*300mm幅面內(nèi)）約1800Kg 皮秒/飛秒 電話聯(lián)系 /1800*1800*1750mm（600*600mm幅面內(nèi)） 約2500kg皮秒/飛秒 |
| 設(shè)備重量 | 3500kg |
| 功率 | 5W/10W/15W/20W/30W/40W |
| 可處理文件格式 | 標(biāo)準(zhǔn)CAD DXF文件 |
| 振鏡 | 10/14mm通光孔徑 |
| 聚焦鏡 | 40*40/70*70/110*110mm幅面（根據(jù)不同的應(yīng)用場(chǎng)景選擇） |
| 擴(kuò)束鏡 | 4X、2-8X可調(diào)、1.5X |
| 熱影響區(qū) | ＜5μm/＜3μm |
| 直線度 | ±10μm/±5μm（最小可至±1μm）/±20μm |
| Z軸電機(jī)行程 | 50mm（自動(dòng)軟件控制）/手動(dòng)500mm |
| 設(shè)備功耗 | ＜2500W/＜3000W/＜1500W |
| 品牌 | 元祿光電 | |
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