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| 產品參數 | |||
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| 規格 | 臺式 | ||
| 型號 | EVO系列 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 燈絲 | LaB6 | ||
| 操控系統 | SmartSEM Touch | ||
| 能譜儀（EDS） | 用于常規SEM顯微分析應用 | ||
| 最大樣品高度 | 100/145/210mm | ||
| 最大樣品直徑 | 230/250/300mm | ||
| 載物臺行程 | 最大 130x130x80mm | ||
| 品牌 | Zeiss | ||
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