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| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
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| 品牌 | 美國PlasmaStar | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 規(guī)格 | 200mm | ||
| 外形尺寸 | 200mm | ||
| 顯示方式 | 7英寸大液晶觸摸屏 | ||
| 毛重 | 150kg | ||
| 傳感器類型 | 電感式 | ||
| 發(fā)貨地 | 武漢 | ||
| 產(chǎn)地 | 美國(原裝進(jìn)口) | ||
| 起訂量 | 1套起批 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 型號 | PlasmaStar200/200RIE | ||
一、反應(yīng)離子刻蝕機(jī)PlasmaStar 100儀器介紹
1、腔體尺寸：直徑≥200mm，深度≥280mm；
2、腔體材質(zhì)：硬質(zhì)陽極氧化鋁矩形腔體；
3、處理腔背面材質(zhì)：鋁；
4、處理腔門：要求全自動(dòng)腔門；
5、兩路工藝氣體，≥2路質(zhì)量流量控制器控制氣體流量，氣體輸入腔室?guī)蛄髟O(shè)計(jì)；
6、射頻功率：0~600W連續(xù)可調(diào)，13.56MHz，自動(dòng)匹配，自然風(fēng)冷；
7、配備RIE平面水冷平板電極；
8、7英寸及以上顯示器、觸摸屏、圖形用戶界面；?
9、程序控制：觸摸屏電腦控制，無線程序存儲；
10、Windows操作系統(tǒng)，兼容Windows office軟件，USB接口，可進(jìn)行外部電腦遠(yuǎn)程控制的功能；
11、狀態(tài)和出錯(cuò)信息提示，過程數(shù)據(jù)和出錯(cuò)信息存儲，可選擇自動(dòng)和手動(dòng)操作模式，過程數(shù)據(jù)可以導(dǎo)出，工藝參數(shù)以圖形方式呈現(xiàn)，可實(shí)時(shí)監(jiān)控，自動(dòng)實(shí)現(xiàn)泄露檢測；
12、配套緊急急停按鈕（EMO)，配套電路斷路器，機(jī)械聯(lián)鎖（門傳感器）和真空聯(lián)鎖（壓力開關(guān)），通過軟件可進(jìn)行遠(yuǎn)程的真空聯(lián)鎖；
13、典型的光刻膠刻蝕速率：80nm/min；
14、典型工藝均勻性：≥±10；
邁可諾技術(shù)有限公司
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