P11 系列壓電納米定位臺為小體積 1~3 維壓電平移臺，平臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構(gòu)，一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計。機構(gòu)放大式驅(qū)動原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實現(xiàn) 100μm 位移。閉環(huán)版本定位精度可達納米級。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導向系統(tǒng)具有高導向精度、高剛性、高負載、無摩擦、免維護等特點。壓電定位臺具有非常高的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可達納米量級，定位穩(wěn)定時間為毫秒量級。壓電定位臺為無磁材質(zhì)，使用過程中不受磁場的影響，且體積小、結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成。

特點：

? 1~3 維運動 ? 位移可達 300μm ? 體積小巧 ? 毫秒級響應(yīng)時間 ? 納米級定位精度 ? 真空版本可選