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| 產品參數 | |||
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| 品牌 | 德國unitemp | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 工作電壓 | 220V | ||
| 最高溫度 | 1200攝氏度； | ||
| 升溫速率 | 150攝氏度/秒 | ||
| 降溫速度 | 200攝氏度/分鐘 (1000攝氏度-->400攝氏度) | ||
| 溫控均勻性 | ≤ 1.5設定溫度 | ||
| 加熱方式 | 紅外鹵素燈，頂部及底部加熱 | ||
| 燈管數量及功率 | 18支/20千瓦 | ||
| 腔體冷卻 | 水冷方式 | ||
| 襯底冷卻 | 氮氣吹掃 | ||
| 工藝氣路 | MFC控制，最多4路 (氮氣、氬氣、氧氣、氫氮混合氣等) | ||
| 低真空 | 10-3 hPa | ||
| 主機尺寸 | 505mm x 504mm x 420mm (W x D x H) | ||
| 重量 | 55Kg | ||
| 高真空 | 10-6 hPa | ||
| 晶圓尺寸 | 4英寸 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
