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| 產品參數 | |||
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| 中科博達 HMDS預處理真空烘箱 BD/HMDS-6090 半導體行業 內形尺寸 | 450×450×450 | ||
| 控溫范圍 | RT 10～250℃ | ||
| 溫度分辨率 | 0.1℃ | ||
| 溫度波動度 | ±1℃ | ||
| 達到真空度 | 小于133Pa | ||
| 真空度 | 100Pa～100000Pa | ||
| 定時范圍 | 1～9999S | ||
| 樣品架 | 2塊 | ||
| 工作室材料 | 316L | ||
| 電源電壓 | 220V/50HZ | ||
| 真空泵 | 渦旋干泵（選配） | ||
| 真空抽速 | ≥3.5L/S | ||
| 控制器 | 觸摸屏 PLC | ||
| 真空分辨率 | 1Pa | ||
| 品牌 | 中科博達 | ||
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