API準(zhǔn)分子激光氣體凈化器
用于準(zhǔn)分子激光器的 API 氣體凈化器可提高激光器性能并延長(zhǎng)激光器維修間隔。有選擇地去除由激光作用產(chǎn)生的腐蝕性雜質(zhì)，以保持混合氣體的純度。索取 API 技術(shù)簡(jiǎn)報(bào)第 118 號(hào)。可提供滿(mǎn)足不同類(lèi)型準(zhǔn)分子 激光系統(tǒng)需求的產(chǎn)品。
型號(hào) C-2000 - 用于 ArF 和 F 2激光器。
型號(hào) C-6000 - 用于多氣體準(zhǔn)分子激光器。
型號(hào) C-8000 - 用于工業(yè)激光應(yīng)用。
定制氣體凈化器- 用于 OEM 激光應(yīng)用。

型號(hào) C-2000


對(duì)于 ArF 和氟激光應(yīng)用
對(duì)于在 ArF 和 F 2上運(yùn)行的激光器，LN 2 冷卻的 C-2000 經(jīng)濟(jì)、易于使用且高度可靠。C-2000 還易于安裝、操作和維修。可以添加自動(dòng) LN 2重新填充作為額外選項(xiàng)。C-2000 也可以改裝為 API 型號(hào) C-6000 凈化器用于多氣體操作。

粒子過(guò)濾 < 0.1 微米 gt; 99.95 保留
工作溫度 77° K。
氣體循環(huán)流量 30 標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘
燃?xì)鈮毫Ψ秶?1 至 5 巴（絕對(duì)）
液氮凈容量 14升
方面 22"高 x 19"寬 x 22"深

型號(hào) C-6000


對(duì)于多氣體準(zhǔn)分子激光器
C-6000 兼容所有準(zhǔn)分子激光器和激光氣體類(lèi)型，具有自動(dòng)控制和易于更換氣體的特點(diǎn)。C-6000 提供卓越的性能結(jié)果。C-6000 可配置用于特殊應(yīng)用，例如高壓范圍和高流速要求。 可以添加 自動(dòng) LN 2重新填充作為額外選項(xiàng)。

粒子過(guò)濾 < 0.1 微米 gt; 99.95 保留
工作溫度 77° K 至 150° K。
氣體循環(huán)流量 30 標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘
燃?xì)鈮毫Ψ秶?1 至 5 巴（絕對(duì)）
液氮凈容量 13.6升
方面 22"高 x 19"寬 x 22"深

型號(hào) C-8000


對(duì)于工業(yè)準(zhǔn)分子激光應(yīng)用
為了滿(mǎn)足連續(xù)制造的需求，C-8000 專(zhuān)為高強(qiáng)度使用、無(wú)人值守操作和長(zhǎng)期可靠性而設(shè)計(jì)。C-8000 具有本地和遠(yuǎn)程控制功能，符合所有適用的 TUV 和 IBM 電氣和安全標(biāo)準(zhǔn)。所有服務(wù)連接均設(shè)計(jì)為易于訪問(wèn)。MTTR 和 MTBF 數(shù)據(jù)可應(yīng)要求提供。

粒子過(guò)濾 < 0.1 微米 gt; 99.95 保留
工作溫度 77° K 至 150° K。
氣體循環(huán)流量 25 標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘
燃?xì)鈮毫Ψ秶?.5 至 4.3 巴（絕對(duì)）
液氮凈容量 13.6升
方面 22"高 x 19"寬 x 22"深