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| 產品參數 | |||
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| 對于用戶腔室接口要求 | KF40 | ||
| 公司名稱 | 科創鼎新 | ||
| 流量調節閥 | 電動，KF40接口 | ||
| 控制系統 | 西門子PLC控制器，PLC控制，觸摸屏操作 | ||
| 控壓 | 控壓范圍300-500Pa | ||
| 顯示精度 | 0.1Pa | ||
| 控壓精度 | ±0.5-5Pa可控 | ||
| 真空規 | 測量范圍13000Pa至0.1Pa（可調） | ||
| 充氣 | 配置電磁閥門與流量計配合充氣 | ||
| 氣體介質 | 氬氣 | ||
| 真空計 | ZDZ-52T電阻真空計 | ||
| 主要配置 | 無油渦旋干式真空泵1臺；質量流量計1臺；流量調節閥 | ||
| 是否定制 | 是 | ||
| 工作溫度 | –10 到 50°C | ||
| 工作電源 | 90-260VAC | ||
| 47-63Hz | |||
| 100W | |||
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | ||
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