JEL SSCR3090S小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂特點：
超潔凈無塵間用2軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SSCR3090S系列
適用于半導體生產設備內部，檢測設備等小尺寸晶圓的搬運，通過優(yōu)化機械手臂的空間尺寸，
有利于實現(xiàn)設備的小型化
機械手臂標準臂長：90mm
同SSCR2090S-PM兼容，連桿式手臂，可以定制沒有Z軸模塊的機械手臂
配備動作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸使用2相步進電機
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式
手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質
可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供最優(yōu)的手指


小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SSCR3090S基本參數：
使用環(huán)境 潔凈間內的大氣環(huán)境
手臂 單臂
到達距離 175mm (手臂第3關節(jié)中心到達距離)
升降軸最大行程 150mm
可搬運質量 0.1kg (只包含被搬運物體)(手臂第3關節(jié)處基準)