| 產(chǎn)品參數(shù) |
| 品名 | 晶圓機(jī)械手臂 |
| 軸數(shù) | 3軸 |
| 英文名 | wafer transfer robot |
| 產(chǎn)地 | 中國(guó) |
| 加工定制 | 否 |
| 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng) | | 100mm |
| 130mm |
| 160mm |
| 200mm |
| 使用環(huán)境 | 真空環(huán)境 |
| 手臂 | 單臂 |
| 到達(dá)距離 | 520mm |
| 可搬運(yùn)質(zhì)量 | 3kg |
| 控制通訊方式 | RS232C及并口I/O方式 |
| 可售賣(mài)地 | 全國(guó) |
| 類型 | 圓柱坐標(biāo)型 |
| 型號(hào) | SVCR3260-020-PM | |
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晶圓機(jī)械手臂 JEL 3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手SVCR3260-020-PM特點(diǎn)：
● 適用于真空環(huán)境
● 手臂關(guān)節(jié)使用磁流體密封裝置
● 真空密封 采用磁流體密封裝置及波紋管
● 潔凈應(yīng)對(duì) 手臂內(nèi)部裝有排氣用過(guò)濾器
● 可搬運(yùn)重量：手臂第三關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)2Kg以下
● 與弊司舊版SVHR系列具有互換性，可實(shí)現(xiàn)輕松替換
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