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| 產品參數 | |||
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| 品牌 | 中圖儀器 CHOTEST | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 是否進口 | 否 | ||
| 外形尺寸 | 630610500mm | ||
| 重量 | 40kg | ||
| 單次掃描長度 | 55mm | ||
| 最大樣品厚度 | 50mm | ||
| 載物臺可裝載最大晶圓尺寸 | 200mm（8吋） | ||
| 最大掃描采樣點數 | 120000 | ||
| 溫度 | 16-25℃ | ||
| 濕度 | 30-40 RH | ||
| 樣品R-θ載物臺 | 電動，360°連續旋轉 | ||
| 真空吸盤 | 標準配置6英寸真空吸盤 | ||
| 探針選型 | 探針曲率半徑2μm，夾角60° | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 型號 | NS200 | ||
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