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| 產品參數 | |||
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| HMDS烘箱 晶圓涂布箱 涂膠預處理箱 BD/HMDS-6210 運行穩定 可非標定值 是否支持加工定制 | 是 | ||
| 是否進口 | 否 | ||
| 操作方式 | 人機界面 | ||
| 測量對象 | 晶圓 | ||
| 電源 | 220V | ||
| 適用范圍 | 半導體行業 | ||
| 容積 | 50L、90L、210L | ||
| 真空泵 | 干式渦旋泵 | ||
| 溫度范圍 | RT 10℃～200℃ | ||
| 溫度波動度 | ≤±1℃ | ||
| 溫度分辨率 | 0.1℃ | ||
| 真空度 | 100Pa～100000Pa | ||
| 樣品架 | 2層、3層 | ||
| 氣源 | 氮氣 | ||
| 品牌 | 中科博達 | ||
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