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桌面微型光刻機微米級圖案制作保障卓越的形轉移精度

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產品價格: \u9762\u8bae/人民幣 
最后更新: 2024-06-24 02:58:15
產品產地: 湖北武漢
發貨地: 湖北武漢 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
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  • 公司基本資料信息
    • 武漢邁可諾科技有限公司
    • 趙經理先生 銷售經理
    • 會員[試用會員產品]
    • 郵件tchiu@mycroinc.com
    • 手機18221354817
    • 電話
    • 傳真
    • 地址武珞路628號亞洲貿易廣場
    • 進入商鋪
     
    產品詳細說明
    產品參數
    品牌Mycro
    是否支持加工定制
    是否進口
    曝光光源紫外LED
    光源波長365nm
    曝光面積4英寸/6英寸
    曝光方式單面接觸式定時曝光
    曝光分辨率2μm
    曝光強度20~200mW/cm2
    曝光不均勻性≤5
    光源平行性≤2°
    可售賣地全國

    1.產品介紹
    桌面微型光刻機,專為微米級圖案制作而設計,旨在保障卓越的圖形轉移精度。設備采用紫外LED冷光源,結合雙非球面石英透鏡,可生成半角<2°的平行光,相較傳統接觸式曝光機,其極致緊湊的體積將移形換影置于桌面之上,為操作提供了便利與精準。
    該光刻機廣泛適用于微流控芯片、MEMS器件、光電子器件以及聲表面波器件等制備領域。其性能尤其適合高校、科研院所以及企業展開微細加工工藝研究。緊隨現代技術的步伐,桌面微型光刻機的問世為微納加工注入了新的活力,助力客戶在項目目標的實現過程中邁向更高精度、更具創新性的階段。


    2.技術參數
    曝光光源:紫外LED;
    光源波長:365nm;
    曝光面積:4英寸、6英寸可選;
    曝光方式:單面接觸式定時曝光;
    曝光分辨率:2um;
    曝光強度:30~120mW/cm2可調;
    曝光不均勻性:<5;
    光源平行性:≤2°
    光源壽命:>20000h;
    電源輸入:AC220V±10V,50HZ
    功率:250W
    重量:約22kg
    外形尺寸:382(長)*371(寬)*435(高)工作環境:溫度0℃-40℃,相對濕度<80


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