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| 產品參數 | |||
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| 品牌 | NeutronixQuintel | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 是否進口 | 是 | ||
| 重量 | 217kg | ||
| 外形尺寸 | 1220mm x 915mm x 1423mm | ||
| 真空 | -0.7 bar (21” Hg) | ||
| Voltage | 240VAC 50Hz | ||
| Compressed Air | 5.4 bar (80 PSI) | ||
| Nitrogen (or CDA) | 3 bar (40 PSI) | ||
| 紫外燈 | 350/500W or 500/1KW | ||
| Mask Size | 3”x3” up to 9”x9” | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 型號 | NXQ4006 | ||
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1.光刻機主機
1.1具有穩定可靠的芯片厚度補償系統；
1.2 PLC控制系統，可進行工藝參數的編程，操作便捷；
▲1.3具有自動執行楔形誤差補償，并在找平后自動定位功能；
1.4采用LED穿透物鏡照明技術，具有超強對準亮度；
1.5配套集成式防震臺；
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-LED紫外線燈罩?
-曝光波長365405435nm
-LED壽命長，無需維護
-恒定強度，無需每天調整
-即時開啟-不使用時無需開啟
-低功耗
-閉環液體冷卻系統
-具有MS Windows界面的基于PC的控件
-基于Windows 10的菜單驅動圖形用戶界面
-配方設置功率電平
-g、h和i線紫外線強度的獨立控制
-配方設置從20到100輸出
-365時可編程范圍為6mw-30mw/cm2
-405時可編程范圍為15mw-75mw/cm2
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