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| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
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| 對(duì)于用戶腔室接口要求 | KF40 | ||
| 公司名稱 | 科創(chuàng)鼎新 | ||
| 流量調(diào)節(jié)閥 | 電動(dòng)，KF40接口 | ||
| 控制系統(tǒng) | 西門子PLC控制器，PLC控制，觸摸屏操作 | ||
| 控壓 | 控壓范圍300-500Pa | ||
| 顯示精度 | 0.1Pa | ||
| 控壓精度 | ±0.5-5Pa可控 | ||
| 真空規(guī) | 測(cè)量范圍13000Pa至0.1Pa（可調(diào)） | ||
| 充氣 | 配置電磁閥門與流量計(jì)配合充氣 | ||
| 氣體介質(zhì) | 氬氣 | ||
| 真空計(jì) | ZDZ-52T電阻真空計(jì) | ||
| 主要配置 | 無油渦旋干式真空泵1臺(tái)；質(zhì)量流量計(jì)1臺(tái)；流量調(diào)節(jié)閥 | ||
| 是否定制 | 是 | ||
| 工作溫度 | –10 到 50°C | ||
| 工作電源 | 90-260VAC | ||
| 47-63Hz | |||
| 100W | |||
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | ||
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