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| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
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| 品牌 | JEL | ||
| 工作范圍 | 晶圓搬運 | ||
| 是否進口 | 是 | ||
| 機械手臂標準臂長 | 160mm | ||
| 190mm | |||
| 260mm | |||
| 通訊方式 | RS232C及并口I/O方式 | ||
| 手指材質(zhì) | CFRP(碳纖維) | ||
| 鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) | |||
| 晶圓固定方式 | 下托式,利用晶圓自重的邊緣夾持式 | ||
| 手臂數(shù) | 單臂 | ||
| 到達距離 | 520mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達距離) | ||
| 升降軸最大行程 | 20mm / 40mm | ||
| 可搬運質(zhì)量 | 2kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準) | ||
| 使用環(huán)境 | 真空部:溫度 15℃~50℃ | ||
| 數(shù)量 | 1 | ||
| 產(chǎn)地 | 日本 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 用途 | 適用于真空腔室內(nèi)的晶圓搬運 | ||
| 型號 | SVCR3260 | ||
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真空3軸圓柱坐標型機械手臂SVCR3000系。適用于真空腔室內(nèi)的晶圓搬運
相比SVHR系列機械手臂,可搬運質(zhì)量提升2倍,具有較好的性價比優(yōu)勢
另外還保持了和SVHR系列機械手臂的兼容性,方便客戶對設(shè)備進行升級改造
機械手臂標準臂長:160mm, 190mm, 260mm, 330mm
手臂關(guān)節(jié)處使用磁流體密封裝置
真空密封:磁流體密封裝置和波紋管
提高潔凈度的方法:手臂內(nèi)部排氣口安裝5μm級過濾器
配備動作監(jiān)視器
控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
全軸采用2相步進電機
S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓
可以選配2相步進電機規(guī)格
手指材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
晶圓固定方式:下托式,利用晶圓自重的邊緣夾持式
可以針對搬運物體,客戶設(shè)備布局的實際情況提供最優(yōu)的手指
SVCR3260真空3軸圓柱坐標型機械手臂基本參數(shù):
使用環(huán)境
真空部:溫度 15℃~50℃
驅(qū)動結(jié)構(gòu)內(nèi)部:潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
溫度 15℃~40℃
手臂 單臂
到達距離:520mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達距離)
升降軸最大行程 20mm / 40mm
可搬運質(zhì)量 2kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準)
如需詳細產(chǎn)品參數(shù) 請聯(lián)系我們
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