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| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | SINTAIKE | ||
| 功率 | 3.3KW | ||
| 重量 | 475 | ||
| 規(guī)格 | 半自動(dòng) | ||
| 尺寸 | 850mm*1450mm*1700mm | ||
| 氣源 | 5 公斤清潔干燥壓縮空氣 | ||
| 流量100 升/分鐘 | |||
| 電源 | 單相交流電220V | ||
| 16A | |||
| 適用范圍 | 8/12寸晶圓 | ||
| 是否進(jìn)口 | 否 | ||
| 工作電壓 | 220v | ||
| 加工定制 | 是 | ||
| 自動(dòng)手動(dòng) | 高級(jí)半自動(dòng) | ||
| 晶圓厚度 | 100~750 微米 | ||
| 晶圓種類 | 硅 | ||
| 砷化鎵或其它材料 | |||
| 晶圓臺(tái)盤 | 通用(一體式)特氟龍防靜電涂層接觸式臺(tái)盤 | ||
| 貼膜精度 | X-Y | ±0.5mm;θ | ±0.5°; |
| 可售賣地 | 全國(guó) | ||
| 用途 | 晶圓切割貼膜 | ||
| 類型 | 落地式 | ||
| 型號(hào) | STK-7150 | ||
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機(jī)器性能
? 晶圓收益:≥99.9;
? 貼膜質(zhì)量:沒(méi)有氣泡(不包括灰塵顆粒氣泡);
? 每小時(shí)產(chǎn)能:≥70 片晶圓;
? MTBF gt;168 小時(shí);
? MTTR lt;1 小時(shí);
? 停機(jī)時(shí)間 lt;3;
? 更換產(chǎn)品時(shí)間:≤10 分鐘
產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格參數(shù)
? 晶圓直徑:8”、12”晶圓;
? 晶圓厚度:100~750 微米;
? 晶圓種類:硅, 砷化鎵或其它材料;
? 膜種類:藍(lán)膜或者UV 膜(粘著力≤8N/20mm);
寬度:300~400 毫米;
長(zhǎng)度:100 米;
厚度:0.05~0.2 毫米;
? 晶圓承載環(huán):8”、12”DISCO 標(biāo)準(zhǔn);
? 貼膜原理:防靜電滾輪貼膜,滾輪壓力可調(diào);
? 晶圓臺(tái)盤:通用(一體式)特氟龍防靜電涂層接觸式臺(tái)盤;
臺(tái)盤可加熱:室溫~100℃;
臺(tái)盤手動(dòng)升降;
? 裝卸方式:晶圓/承載環(huán)手動(dòng)放置與取出;
? 防靜電控制:防靜電特氟龍涂層晶圓臺(tái)盤/防靜電貼膜滾輪/除靜電離子風(fēng)扇;
? 切割系統(tǒng):環(huán)型切刀用于8”、12”DISCO 承載環(huán);
? 廢膜處理:自動(dòng)收取
? 貼膜精度:X-Y:±0.5mm;θ:±0.5°;
? 定位方式:晶圓氣動(dòng)銷定位/承載環(huán)彈簧銷定位;
? 控制單元:基于PLC 控制,帶10.1”觸摸屏;
? 安全防護(hù):配置光簾保護(hù)和緊急停機(jī)按鈕;
? 電源電壓:?jiǎn)蜗嘟涣麟?20V,16A;
? 壓縮空氣: 5 公斤清潔干燥壓縮空氣,流量100 升/分鐘;
? 機(jī)器外殼:白色噴塑金屬外殼;
? 體積:850 毫米(寬)*1450 毫米(深)*1700 毫米(不含燈高);
? 凈重:485 公斤;
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