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| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | Laurell | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 是否進口 | 是 | ||
| 操作方式 | 智能程控 | ||
| 轉(zhuǎn)速范圍 | 0-12000rpm | ||
| 加速度范圍 | 0-12000rpm | ||
| 工藝時間 | 1-5999.9 sec/step | ||
| 存儲程序 | 20條 | ||
| 程序步驟 | 51步 | ||
| 轉(zhuǎn)速分辨率 | 1rpm | ||
| 處理基片尺寸 | 10-150mm | ||
| 腔體材質(zhì) | NPP聚丙烯 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 型號 | HL-650Mz-23NPPB | ||
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一、產(chǎn)品概述：
????最新款?HL-650MZ-23NPPB勻膠機適應(yīng)于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。美國Laurell勻膠機具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動，可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的一致性和均勻性，這正是H6勻膠機的特點。
二、勻膠機工作原理：
勻膠機?HL-650MZ-23NPPB的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，甩膠機常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。
三、勻膠機?HL-650MZ-23NPPB 主要性能指標：
1、Windows 10平板電腦，SPIN 3000 PC觸摸界面軟件輕松編程；
2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直徑的材料，方片125x125mm，（小于10mm可選配托盤）；
3、轉(zhuǎn)動速度：0-12,000rpm；?
4、旋涂加速度：0-12,000rpm/sec；
5、馬達旋涂轉(zhuǎn)速：穩(wěn)定性能誤差<±1；
6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度：不超過1rpm，不超過1rpm；
7、工藝時間設(shè)定：1-5999.9 sec/step 0.1精度；
8、勻膠機材質(zhì)：NPP天然聚丙烯材質(zhì)，抗腐蝕性和抗化學(xué)物性，美觀大方；
9、程序控制：可存儲20個程序段，每個程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài)；
10、分辨率：分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分，可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分，美國國家標準技術(shù)研究院（NIST）認證過的，并且無需再校準！
11、配套真空泵系統(tǒng)：無油型?220~240伏交流，50/60赫茲；
12、原裝進口水平測試儀；?
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