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| 產品參數 | |||
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| 品名 | 晶圓機械手臂 | ||
| 軸數 | 3軸 | ||
| 英文名 | wafer transfer robot | ||
| 產地 | 中國 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 機械手臂標準臂長 | 100mm | ||
| 130mm | |||
| 160mm | |||
| 200mm | |||
| 使用環境 | 真空環境 | ||
| 手臂 | 單臂 | ||
| 到達距離 | 520mm | ||
| 可搬運質量 | 3kg | ||
| 控制通訊方式 | RS232C及并口I/O方式 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 類型 | 圓柱坐標型 | ||
| 型號 | SVCR3260-020-PM | ||
晶圓機械手臂 JEL 3軸圓柱坐標潔凈機械手SVCR3260-020-PM特點：
● 適用于真空環境
● 手臂關節使用磁流體密封裝置
● 真空密封 采用磁流體密封裝置及波紋管
● 潔凈應對 手臂內部裝有排氣用過濾器
● 可搬運重量：手臂第三關節處基準2Kg以下
● 與弊司舊版SVHR系列具有互換性，可實現輕松替換
