產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格參數(shù)
? 晶圓尺寸：4”- 8”晶圓；
? 晶圓厚度：100～750 微米；
? 晶圓種類：硅, 砷化鎵或其它材料；
? 膜種類：藍(lán)膜或者UV 膜（粘著力≤8N/20mm）；
? 寬度：210～300 毫米；
? 長(zhǎng)度：100 米；
? 厚度：0.05～0.2 毫米；

? 晶圓承載環(huán)：6”、8”DISCO 標(biāo)準(zhǔn)；
? 貼膜原理：防靜電滾輪貼膜，滾輪壓力可調(diào)；
? 貼膜動(dòng)作：自動(dòng)拉膜和貼膜；
? 晶圓臺(tái)盤：通用(一體式)特氟龍防靜電涂層接觸式臺(tái)盤；
? 臺(tái)盤可加熱：室溫~100℃；
? 臺(tái)盤手動(dòng)升降；
? 裝卸方式：晶圓/承載環(huán)手動(dòng)放置與取出；

? 防靜電控制：防靜電特龍隆涂層晶圓臺(tái)盤/防靜電貼膜滾輪/除靜電離子風(fēng)扇；
? 切割系統(tǒng)：手動(dòng)圓切刀和直切刀；
? 定位方式：晶圓氣動(dòng)銷定位/承載環(huán)彈簧銷定位；
? 控制單元：基于PLC 控制，帶7”觸摸屏；
? 安全防護(hù)：配置緊急停機(jī)按鈕；

? 電源電壓：?jiǎn)蜗嘟涣麟?20V,10A；
? 壓縮空氣：5 公斤清潔干燥壓縮空氣,流量100 升/分鐘；
? 機(jī)器外殼：白色噴塑金屬外殼；
? 體積：670 毫米(寬)*1180 毫米(深)*1000 毫米(含燈高)；
? 凈重：140 公斤

機(jī)器性能
? 晶圓收益：≥99.9；
? 貼膜質(zhì)量：沒有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡）；
? 每小時(shí)產(chǎn)能：≥ 80 片晶圓；
? MTBF gt;168 小時(shí)；
? MTTR lt;1 小時(shí)；
? 停機(jī)時(shí)間 lt;3；
? 更換產(chǎn)品時(shí)間：≤ 5 分鐘。