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| 產品參數 | |||
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| 型號 | PT-5S | ||
| 重量 | 36.5Kgkg | ||
| 加工定制 | 是 | ||
| 容量 | 5升 | ||
| 供電電源 | AC220V | ||
| 工作電流 | 整機工作電流不大于1.2A(不含真空泵) | ||
| 射頻電源功率 | 0-300W | ||
| 射頻頻率 | 40KHz（偏移量小于0.2KHz） | ||
| 頻率偏移量 | 小于0.2KHz | ||
| 特性阻抗 | 50歐姆，自動匹配 | ||
| 真空度 | 10Pa—1000Pa | ||
| 氣體流量 | 10—160ml/min(可調) | ||
| 過程控制 | MCU自動與手動方式 | ||
| 清洗時間 | 1-100分鐘可調 | ||
| 功率大小 | 10％-100％可調 | ||
| 外形尺寸 | PT-5S型_560x540x410 | ||
| 真空室溫度 | 小于65°C | ||
| 冷卻方式 | 強制風冷 | ||
| 品牌 | 三和波達 | ||
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