一、勻膠機簡介：????

????鈣鈦礦太陽能電池/有機太陽電池制備涂膜工藝行業內首選Laurell勻膠機Spin Coater，從1985年開始，30多年行業領導者，全球用戶超百萬！廣發應用于鈣鈦礦太陽能電池薄膜制備，現當前風靡世界的型號WS-650-23B勻膠機，在全球任何一個著名的實驗室可找到！洛桑聯邦理工學院（EPFL）Michael Gr?tzel教授課題組使用的就是Laurell勻膠機WS-650-23B。

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應用領域：

? 鈣鈦礦太陽能電池Perovskite solar cells

? 有機光伏OPV

? 有機發光二極管OLED

? 有機場效應晶體管&薄膜晶體管OFET & TFT

? 石墨烯&二維材料Graphene &2D

二、勻膠機產品特點:??

1、穩定的轉速和快速的啟動，可保證膠厚度的一致性和均勻性；

2、轉速在12000轉/分范圍內非常穩定，美國國家標準技術研究院（NIST）認證過；

3、采用PLC控制，速度無極調節，在啟動之后一般工藝先以低速運轉使膠攤開，然后自動變到高速運轉，步驟轉速及相應的時間分別可調；??

4、數據模擬：勻膠實驗時將一組設定的涂膠速度和時長數值輸入系統，系統會據此計算出最佳的速度設定方案，帶有速度隨時間變化的曲線；

5、數據記錄：為了提高實驗的可重復性，設備會在數據記錄模式下，實時記錄下前一次工藝過程的實驗實際值，并將該組數據存儲并重復調用，達到近乎完全一致的可重復性；

6、NPP材質耐腐蝕及抗震；

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三、勻膠機技術參數：

1、腔體尺寸：9.5英寸?(241 毫米)；

2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直徑的材料，方片125x125mm；

3、轉動速度：0-12,000rpm；?

4、旋涂加速度：0-12000rpm/sec（空載）；

5、馬達旋涂轉速：穩定性能誤差<±1；

6、轉速調節精度 lt;0.2rpm，重復性< 0.2rpm；

7、工藝時間設定：1-5999.9 sec/step 0.1精度；

8、勻膠機材質：NPP天然聚丙烯材質，抗腐蝕性和抗化學物性，美觀大方；

9、高精度數碼控制器：PLC控制，設置點精度小于0.006；

10、程序控制：可存儲20個程序段，每個程序段可以設置51步不同的速度狀態；

11、分辨率：分辨率小于0.5轉/分，可重復性小于±0.5轉/分，美國國家標準技術研究院（NIST）認證過的，并且無需再校準！

12、配套真空泵系統：無油型?220~240伏交流，50/60赫茲；

13、配套分析軟件：SPIN3000操作分析軟件；

14、原裝進口水平測試儀；

可選配置：

IND構造為濕站系統設計，帶遠程控制；

OND構造為手套箱系統設計，帶遠程控制；

UD自動滴膠裝置；

UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒；

EBR晶圓去邊，機械裝置；

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