真空泵排氣過濾器學名真空泵油霧分離器，主要應用于油封旋片式真空泵，如：普旭真空泵、萊寶真空泵、貝克真空泵、里其樂真空泵、大路通真空泵、愛德華真空泵等用真空泵油作為介質抽除氣體達到真空的設備。這種加裝油霧分離器的油封旋片式真空泵主要具有過濾真空泵油與氣體的功能，使真空泵排氣口排出清潔干凈的空氣、不污染工作環境，適合廠房、室內使用等。

真空泵葉片也稱真空泵旋片，一般旋片式真空泵內部均安裝有真空葉片，是真空泵抽真空時獲取真空源的配件之一。真空泵旋片在泵體內不運轉過程中會產生摩擦，在沒有真空泵油潤滑的情況下極容易導致真空泵葉片發生磨損或斷裂、膨脹等現象。由此從而導致真空度不足，真空上不去。

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真空止回閥，是一種超薄形止回閥，它具有結構簡單、外形美觀、重量輕、安裝方便等優點。該閥主要適用于給水系統、石油、化工、冶金等工業部門對有安裝空間限制的場所最為適用。