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| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
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| 品名 | 晶圓機(jī)械手臂 | ||
| 軸數(shù) | 3軸 | ||
| 英文名 | wafer transfer robot | ||
| 產(chǎn)地 | 中國 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長 | 100mm | ||
| 130mm | |||
| 160mm | |||
| 200mm | |||
| 晶圓固定方式 | 真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式 | ||
| 使用環(huán)境 | 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境 | ||
| 手臂 | 單臂 | ||
| 到達(dá)距離 | 340mm | ||
| 升降軸最大行程 | 200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm | ||
| 可搬運(yùn)質(zhì)量 | 3kg | ||
| 控制通訊方式 | RS232C及并口I/O方式 | ||
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | ||
| 類型 | 圓柱坐標(biāo)型 | ||
| 型號(hào) | SCR3160CS | ||
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晶圓機(jī)械手臂 JEL 3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手SCR3160CS特點(diǎn)：
超潔凈無塵間用3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂SCR3000CS系列
適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長: 100mm, 130mm, 160mm, 200mm
適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
配備動(dòng)作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用2相步進(jìn)電機(jī)
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)玻璃基板
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類，設(shè)備布局等要求提供最優(yōu)的手指
3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂SCR3160CS基本參數(shù)：
使用環(huán)境 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂 單臂
到達(dá)距離 340mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
升降軸最大行程 200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm
可搬運(yùn)質(zhì)量 3kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))
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