PFEIFFER普發真空多級羅茨泵ACP15

ACP 系列風冷多級羅茨泵
ACP 系列多級羅茨泵是專為壓力范圍從大氣壓力直到 3 · 10-2?hPa 的無油無粒子應用而設計的。這種風冷泵是旋片泵的優質替代品。

G 版本的泵經過特別開發，是專為傳輸少量腐蝕性氣體而設計的。建議 ACP 系列的該版本用于傳輸室、工藝監視系統以及離子束應用。風冷 ACP 系列的?CV 版本的水蒸汽容量可達每小時 1,000 克。其專為避免泵體內的蒸汽冷凝而設計。

以標準版本為基礎，已開發出多個特定版本的 ACP 泵以更好地滿足特定要求，例如：

• 無氟泵送方案，SH 和 R 版本，
• 抗核輻射，R 版本，
• 高價值氣體的循環和回收，CP 版本。

用于工業應用的 ACP 120 G 和 ACG 600 G
ACP 120 以上萬臺安裝于全世界范圍內的半導體流程泵為基礎，在工業應用中也同樣體現出多級羅茨泵的優勢。水冷泵配有吹掃氣體管路，用于輕微腐蝕性工藝或抽空冷凝介質。ACP 120 可與羅茨泵組合成不同的泵站。羅茨泵站 ACG 600 可作為裝飾或工具涂層真空解決方案的完全免潤滑抽真空系統的基礎。

緊湊型干式泵：A 100 L 和 A 200 L
緊湊型干式泵 A 100 L 和 A 200 L 是為成本節約地集成到半導體生產系統而開發的。
A 200 L 經過優化，可以滿足抽空裝載互鎖所需嚴苛的頻繁泵送周期。

技術參數：