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| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | JEL | ||
| 品名 | 機械手臂 | ||
| 軸數(shù) | 4軸 | ||
| 產(chǎn)地 | 中國 | ||
| 英文名 | wafer robot | ||
| 晶圓固定方式 | 真空吸附方式 | ||
| 控制方式 | 不會發(fā)生丟步現(xiàn)象 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 使用環(huán)境 | 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境 | ||
| 手臂 | 雙臂 | ||
| 到達距離 | 475mm | ||
| 升降軸最大行程 | 200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm | ||
| 可搬運質(zhì)量 | 3kg | ||
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | ||
| 類型 | 圓柱坐標潔凈 | ||
| 型號 | STCR4160SN-V | ||
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STCR4160SN-V_4軸圓柱坐標潔凈機械手臂特點：
適用于超級潔凈間要求的4軸圓柱坐標潔凈機械手臂
在保持高性價比和高速傳輸特性的基礎(chǔ)上，解決了步進電機常見的丟步問題，適用于減薄晶圓以及晶圓四周邊緣區(qū)域真空吸附方式的新型雙臂機械手臂
采用了不會發(fā)生丟步現(xiàn)象的控制方式來控制步進電機
高強度手臂/手臂第3關(guān)節(jié)處可承受3kg力（包含腕部機構(gòu)模塊，晶圓的質(zhì)量）
適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
4軸圓柱坐標潔凈機械手臂STCR4160SN-V基本參數(shù)：
使用環(huán)境 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂 雙臂
到達距離 475mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達距離)
升降軸最大行程 200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm
可搬運質(zhì)量 3kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準)
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