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| 產品參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | JEL | ||
| 英文名 | wafer aligner | ||
| 品名 | 晶圓校準器 | ||
| 產地 | 中國 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 晶圓尺寸 | 100-200 mm | ||
| 方式 | 伯努利吸附方式 | ||
| 控制方式 | 串口RS232C或者并口光學I/O口 | ||
| 尺寸 | 電儀 | ||
| 批號 | 電儀 | ||
| 封裝 | 電儀 | ||
| 數量 | 9999 | ||
| 類似 | 自動 | ||
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | ||
| 材質 | 硅片 | ||
| 型號 | SAL3482HV | ||
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JEL SAL3482HV晶圓校準器wafer aligner特點：
適用于100-200 mm晶圓
可適用于硅片，帶BG膠帶（乳白色）的硅片，透明，半透明晶圓等不同材質晶圓的位置校準
使用自主研發的圖像識別傳感器，采用了控制器和電機驅動器集成到設備本體內部的一體化設計
可以根據晶圓尺寸，材質更改Spindle的直徑，形狀和材質可以使用伯努利吸附方式
控制方式：串口RS232C或者并口光學I/O口
不符合SEMI規格的缺口，缺邊形狀也可以提供定制設計
能夠為Spindle增加Z軸以滿足對晶圓進行升降的需求
晶圓重新拿起的動作對Z軸進行選擇設定
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