對閉壞控制方式機械手臂加上多軸規(guī)格
沒有水平移動軸也能夠搬運到并立配置的開閉安全門臺，由于布局設(shè)計運用自如，降低成本
適用于超級潔凈間要求的4軸圓柱坐標潔凈機械手臂
在保持高性價比和高速傳輸特性的基礎(chǔ)上，解決了步進電機常見的丟步問題，
適用于2寸-300mm晶圓傳輸?shù)男滦碗p臂機械手臂

采用即使在負載發(fā)生突變或者加減速過大的情況也能夠避免電機丟步現(xiàn)象的閉環(huán)控制方式
有效地提高了機械手臂的可靠性
電機配備絕對值編碼器，機械手臂能夠在任何情況下知道自己的當前位置
縮短了機械手臂各動作軸尋找自身位置原點的時間
絕對值編碼器為機械式，不需要更換電池

可以和舊型號的本司產(chǎn)品兼容（安裝尺寸，性能互換），方便客戶對現(xiàn)有設(shè)備的升級改造
高強度手臂?手臂第3關(guān)節(jié)處可承受3kg力（包含腕部機構(gòu)模塊，手指，晶圓的質(zhì)量）
機械手臂標準臂長：100mm, 130mm, 160mm, 200mm
可根據(jù)設(shè)備布局選擇基座固定方式，或法蘭固定方式
可選伯努利方式手指（Option

產(chǎn)品型號 升降軸最大行程
STCR4160SN-200-CM 200mm
STCR4160SN-300-CM 300mm
STCR4160SN-400-CM 400mm
STCR4160SN-450-CM 500mm
STCR4160SN-500-CM 600mm

4軸圓柱坐標潔凈機械手臂STCR4160SN基本參數(shù)：
使用環(huán)境：潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂：雙臂
到達距離：315mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達距離)
升降軸最大行程：200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm
可搬運質(zhì)量：3kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準)