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| 產品參數 | |||
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| 腔體材質 | 316不銹鋼表面處理 | ||
| 腔體容量 | 60L | ||
| 流量計 | 超精密2路電子流量計 | ||
| 真空計 | 高真空規管測量并實時顯示 | ||
| 真空度 | 1-30pa | ||
| 供電電壓 | 380V | ||
| 品牌 | 三和波達 | ||
| 型號 | PL-DW60 | ||
| 腔體尺寸 | 350 ×430×400mm | ||
| 外形尺寸 | 750×700×1250mm | ||
| 電源頻率 | 13.56MHz（自動匹配一體） | ||
| 電源功率 | 0-600W（連續可調） | ||
| 控制過程 | 全自動控制與手動（PLC人機界面） | ||
| 清洗時間 | 0- 99999S 可調 | ||
| 功率大小 | 0- 99999S 可調 | ||
| 腔體溫度 | ＜30℃ | ||
| 真空泵 | BSV40（抽速13L/S） | ||
