方形片狀壓電陶瓷片\/堆棧單片位移可達3.3μm

片狀壓電陶瓷是標(biāo)準(zhǔn)厚度為 2mm 的方片或環(huán)片。單片位移可達 3.3 μm。

堆棧式壓電陶瓷是通過將多片壓電陶瓷片進行疊堆、焊接公共電極后使用，高度自由選擇，疊堆后的位移為每片位移的總和，總位移可達 326.7μm。定制 UHV 版本，耐壓可達 10^-10torr=1.33×10^-10mbar。