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| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
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| 驅(qū)動方式 | 電動泵 | ||
| 介質(zhì)溫度類型 | 常溫泵 | ||
| 最大出口壓力類型 | 高壓泵(32MPa≤Pd<100MPa) | ||
| 葉片式泵葉輪級數(shù) | 多級泵 | ||
| 葉片式泵吸入方式 | 雙吸泵 | ||
| 葉片式泵葉輪形式 | 敞開式葉輪 | ||
| 葉片式泵泵軸位置 | 立式泵 | ||
| 結(jié)構(gòu)類型 | 羅茨式 | ||
| 顏色 | 黑色白色其他 | ||
| 產(chǎn)地 | 日本 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 材質(zhì) | 鋁合金 | ||
| 型號 | 齊全 | ||
ESR系列（節(jié)能型羅茨泵）是多級干式真空泵，設(shè)計用于從清潔到中負荷工藝的各種應(yīng)用。ESR系列的泵速范圍從35到1,625 CFM，極限壓力低至1 mTorr。
1 x EBARA GENESIS泵522-023
1 x EBARA GENESIS泵522-021
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EBARA 305W渦輪分子泵控制器。
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1 x EBARA GENESIS真空泵522-223
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Ebara AAS20N干式真空泵經(jīng)過測試工作
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305W /渦輪分子泵控制器＃305W / EB原
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Ebara 50DVSL61.5泵USIP
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EBARA EV-S20P干式真空泵，正常工作
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EBARA AA10，干式泵，真空干式泵，
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EBARA GENESIS真空泵524-421
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bar原干式泵A70W，使用中
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