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VIONiC光柵系列集成了雷尼紹先進(jìn)的光學(xué)濾波系統(tǒng)設(shè)計(jì)與細(xì)分技術(shù)。這是一款高性能數(shù)字一體化增量式光柵，其優(yōu)點(diǎn)包括無(wú)需額外使用適配器或單獨(dú)的接口。VIONiC適用于多種要求嚴(yán)苛的應(yīng)用場(chǎng)合，包括要求具備動(dòng)態(tài)運(yùn)動(dòng)控制性能、超高精度和更快速度的應(yīng)用。

產(chǎn)品特性

1.更高的速度--當(dāng)達(dá)到高時(shí)鐘速度（50 MHz計(jì)時(shí)器速度）時(shí)，VIONiC讀數(shù)頭能夠在工作速度下以高分辨率輸出最小分離時(shí)間為25.3 ns的正交邊緣。

2.更高的精度--VIONiC讀數(shù)頭與各種直線柵尺和圓光柵兼容，從熱膨脹系數(shù)低至±1 μm/m的直線柵尺，到整體安裝精度達(dá)±1角秒的圓光柵。

3.更優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)控制性能--VIONiCplus采用我們最新的細(xì)分算法和信號(hào)處理技術(shù)，可實(shí)現(xiàn) <±10 nm的極低電子細(xì)分誤差。低電子細(xì)分誤差 (SDE) 等同于低速度紋波，這對(duì)于掃描測(cè)量系統(tǒng)等恒定速度應(yīng)用來(lái)說(shuō)十分重要。VIONiCplus的智能細(xì)分芯片可實(shí)現(xiàn)8 000 x細(xì)分值，相當(dāng)于讀數(shù)頭輸出分辨率直接達(dá)到2.5 nm。該系統(tǒng)適合在精度和重復(fù)性極為重要的應(yīng)用場(chǎng)合使用。

設(shè)計(jì)特點(diǎn)

1.緊湊型讀數(shù)頭 (35x13.5x10mm)

2.內(nèi)置雙限位（僅限直線光柵），工作溫度70℃。

3.與配有IN-TRAC自動(dòng)調(diào)相光學(xué)參考零位（基準(zhǔn)）的直線柵尺和圓光柵兼容

4.優(yōu)化的第三代光學(xué)濾波系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了更低的噪聲（抖動(dòng)）

5.動(dòng)態(tài)信號(hào)處理技術(shù)可確保典型值 <±30nm (VIONiC) 或低至 <±10nm(VIONiCplus) 的超低電子細(xì)分誤差

6.自動(dòng)增益控制、自動(dòng)平衡控制和自動(dòng)偏置控制確保了一致的信號(hào)強(qiáng)度和長(zhǎng)期可靠性

7.內(nèi)置LED安裝指示燈令安裝更加輕松，可選的診斷工具 (ADT) 可優(yōu)化安裝并協(xié)助系統(tǒng)查錯(cuò)。

8.速度可達(dá)12m/s（分辨率為0.1 μm時(shí)，速度可達(dá)3.63 m/s）

9.直接從讀數(shù)頭輸出數(shù)字信號(hào)：VIONiC分辨率從5μm至20nmVIONiCplus分辨率從0.1μm至2.5nm。

技術(shù)參數(shù)