硅片晶圓曝光機(jī)URE-2000\/35

紫外曝光機(jī)
型號(hào)：URE-2000/35
簡(jiǎn)單介紹：曝光機(jī)：(英文名：Mask ALIGENER)又名光刻機(jī), 該型號(hào)光刻機(jī)創(chuàng)新采用三柔性支點(diǎn)實(shí)現(xiàn)高精度自動(dòng)調(diào)平；真空接觸自動(dòng)曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制；采用創(chuàng)新技術(shù)積木錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設(shè)定分離間隙；采用雙目雙視場(chǎng)顯微鏡實(shí)現(xiàn)高對(duì)準(zhǔn)精度。整機(jī)具有性能可靠、操作方便、自動(dòng)化程度高等特點(diǎn)。

一．技術(shù)特征——非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，自動(dòng)型）和高校教學(xué)科研（可靠性好，演示方便）采用創(chuàng)新技術(shù)——積木錯(cuò)位蠅眼透鏡平滑衍射效應(yīng)和實(shí)現(xiàn)均勻照明；

1、采用三爪和球氣浮同時(shí)找平，無(wú)論大片、小片調(diào)平精度均高；

2、具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能；

3、自動(dòng)分離對(duì)準(zhǔn)間隙和消除曝光間隙，間隙分離可達(dá)500μm；