科創真空不銹鋼真空腔體加工中心超高真空腔體加工機構

真空腔體

一般真空腔體內部是規則的長方體,用一面加熱進行熱輻射的方式熱傳導不能合理涵蓋整個腔體的內部空間,所以效果不是很理想 經過試驗論證,采取在真空腔體內正上方、正下方、左側面、右側面各安裝一套加熱板加熱的方法,采用面對面熱輻射方式對腔體內部進行加熱.

由于設備在真空狀態下采用了上,下,左,右四面四路加熱的方法,比單純一路加熱就要復雜多了,這也是溫度控制的難點.因此采用PID來進行溫度控制調節,控溫熱偶設置在腔體內部,這樣可以更好地控制真空腔體內的溫度.

真空腔體加工的注意事項

真空腔體是保持內部為真空狀態的容器，真空腔體加工要考慮容積、材質和形狀。

超高真空系統主要采用不銹鋼材質。其中300系列不銹鋼(表1)是含Cr10～20的低碳鋼，具有優良的抗腐蝕性、無磁性、焊接性好、導電率、放氣率低和導熱率低、能夠在-270～900℃工作等優點，在高真空和超高真空系統中，應用較廣。

為了減小腔體內壁的表面積，通常用噴砂或電解拋光的方式來獲得平坦的表面。超高真空系統的腔體，更多的是利用電解拋光來進行表面處理。

影響真空絕緣水平的主要因素

電極資料

真空開關作業在10-2Pa以上的高真空，因為此刻氣體分子十分稀疏，氣體分子的碰撞游離對擊穿已經不起效果，因而擊穿電壓表現出和電極資料有較強的相關性。

真空空隙的擊穿電壓跟著電極資料的不同而不同，研究者發現擊穿電壓和資料的硬度與機械強度有關。一般來說，硬度和機械強度較高的資料，往往有較高的絕緣強度。比如，鋼電極在淬火后硬度進步，其擊穿電壓較淬火前可進步80。

此外，擊穿電壓還和陰極資料的物理常數如熔點、比熱和密度等正相關，即熔點較高的資料其擊穿電壓也較高。比照熱和密度而言亦然。這一問題的實質是在相同熱能的效果下，資料發作熔化的概率越大，則擊穿電壓越低。