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| 產品參數 | |||
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| 品牌 | 韓一 | ||
| 電壓 | 220V | ||
| 功率 | 20W | ||
| 重量 | 11000kg | ||
| 機板泵 | 愛德華EM275 | ||
| 羅次泵 | 愛德華EM2600 | ||
| 深冷 | 韓國V-PLUS1000H | ||
| 品控 | XTC 2個品控 | ||
| 阻蒸 | 1個 | ||
| 工件傘 | 1600 | ||
| 工件轉速 | 10rpm to 30rpm(可變) | ||
| 波長范圍 | 350nm to 1100nm | ||
| 電子槍 | 1個 | ||
| 蒸發源 | 1個 | ||
| 電機 | 2個 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
